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Das NANOS ist ein umfassendes und erschwingliches Tisch-Rasterelektronenmikroskop (REM). Es wurde mit modernster Technologie entwickelt und liefert schnelle und hochwertige REM-Bilder sowie Elementanalysen. Sein robustes und modernes Design macht es perfekt für Forschung & Entwicklung, Bildungszwecke und industrielle Anwendungen.

Picture of Semplor NANOS scanning electron microscope (SEM) from side angle

Eucentric stage

Easily replacable electron source

High performance detectors

Sekundärelektronendetektor

Erfasst energiearme Sekundärelektronen für eine außergewöhnliche Oberflächentopografie. Ideal, um feine Oberflächendetails und Strukturen bei hoher Vergrößerung sichtbar zu machen.

Hauptmerkmale:

  • Oberflächentopografie
  • Hochauflösende Bildgebung
  • Materialkontrast
Secondary Electron Detector

Flexible Vakuumtechnologie

Wechseln Sie zwischen Hoch- und Niedrigvakuummodus, um jede Probenart ohne Kompromisse zu untersuchen. Im NANOS Tisch-REM standardmäßig enthalten.

Euzentrische Bühne standardmäßig enthalten

Die euzentrische Bühne des NANOS ist wirklich einzigartig. Sie ist beim NANOS standardmäßig enthalten. Die motorisierten XY-Bewegungen lassen sich ganz einfach per Mausklick steuern. Das Neigen der Probe im REM-Modus erfolgt durch manuelles Drehen der Bühne. Dank des euzentrischen Designs bleibt die Probe im Fokus, ohne dass zwischendurch Anpassungen der REM-Einstellungen erforderlich sind. Auf dem Monitor wird der genaue Neigungswinkel angezeigt. Proben können bis zu 55 Grad geneigt werden.

Gemischtmodus-BSE- & SE-Bilder

BSE- und SE-Bilder können gleichzeitig in einem einzigen zusammengesetzten Bild betrachtet werden. Die Bilder können entweder überlagert oder nebeneinander verglichen werden.

BSD surface comparison image SED surface comparison image
SED
BSD

Richtungsabhängige Topografiebildgebung

Der 4-Quadranten-BSE-Detektor ermöglicht eine richtungsabhängige Schattensteuerung für eine verbesserte 3D-Visualisierung von Oberflächenstrukturen.

Beleuchtung aus NORTH
Directional topography preview
Beleuchtung aus NORTH

Eingebettete Elementanalyse

Der integrierte Silizium-Drift-Detektor (SDD) bietet leistungsstarke EDS-Funktionen für eine umfassende Materialcharakterisierung.

Umfassende Elementanalyse

Das integrierte EDS-System bietet quantitative und qualitative Elementanalysen von Bor (B) bis Americium (Am) mit branchenführender Energieauflösung.

Energieauflösung ≤ 132 eV (Mn Kα)
Nachweisbare Elemente B (5) – Am (95)
Count Rate max. 300,000 cps
Aktive Fläche 30 mm²
EDS spectrum preview
1

Punktanalyse

Identifizieren Sie Elemente an bestimmten Stellen mit Einzelklick-Genauigkeit.

2

Linien-Scan

Verfolgen Sie die Elementverteilung entlang benutzerdefinierter Pfade.

3

Kartierung

Erstellen Sie farbkodierte Elementverteilungskarten.

4

Quantifizierung

Automatische standardlose Quantifizierung mit ZAF-Korrektur.

Flexible Beschleunigungsspannung

Sieben optimierte Spannungsvoreinstellungen von 1 bis 20 kV bieten die perfekte Balance zwischen Auflösung und Probenwechselwirkung.

10 kV
Medium
Oberflächenempfindlichkeit
Medium
Durchdringungstiefe
Very Good
Auflösung

Perfect balance for most imaging applications.

Leicht austauschbare Elektronenquelle

Der integrierte Silizium-Drift-Detektor (SDD) bietet leistungsstarke EDS-Funktionen für eine umfassende Materialcharakterisierung.

Electron source replacement

Schneller & einfacher Austausch

  • Komplett in weniger als 15 Minuten
  • Einfache Ausrichtung mit dem mitgelieferten Ausrichtungswerkzeug
  • Das austauschbare Quellen-Design reduziert Ausfallzeiten erheblich.
  • Der Austausch der Quelle ist sehr kostengünstig.
  • Kein Servicetechniker erforderlich

Betriebsmodi der Filamente

Technische Spezifikationen

Detaillierte Spezifikationen, die die erweiterten Fähigkeiten des NANOS-Systems aufzeigen.

BILDGEBUNGSMODUS
Optisch
2- und 12-fach optisch mit bis zu 60-fachem digitalem Zoom
REM
Vergrößerungsbereich: 100 – 200.000×
Auflösung
<8 nm
Aufnahmeresolution
Bis zu 4096 × 4096 Pixel (4K)
BELEUCHTUNG
Lichtoptisch
Hellfeld
Elektronenoptisch
Optimierte thermionische Quelle (Wolfram)
Lebensdauer: 1000+ Betriebsstunden im ECO-Modus
Beschleunigungsspannungen
Standard: 1, 2, 5, 7, 10, 15 und 20 kV
DETEKTOR
Sekundärelektronendetektor (SED)
Rückstreuelektronendetektor (BSD) – 4-Quadranten
Energiedispersive Spektroskopie-Detektor (EDS) – integriert
LICHTOPTISCHE NAVIGATIONSKAMERA
Farbe
BILDFORMATE
JPEG, TIFF, PNG, BMP
BENUTZEROBERFLÄCHE
Kommunikation, Bildgebung und Analyse erfolgen über einen einzelnen Monitor, gesteuert mit einer kabellosen Maus und Tastatur.
Fernsteuerung und Diagnose aktiviert
DATENSPEICHERUNG
Netzwerk, USB, Workstation
PROBENBÜHNE
Eucentric tilt stage (+15° up to -40° ) manual
Computer-controlled motorized X, Y: 25 x 25 mm
SAMPLE SIZE
Bis zu 45 mm Durchmesser (max. +15° bis -15° Neigung)
Bis zu 19 mm Höhe (optional 40 mm)
EDS-SPEZIFIKATIONEN
Detektortyp
Silizium-Drift-Detektor (SDD), thermoelektrisch gekühlt
Aktive Detektorfläche
30 mm2
Energieauflösung
@ Mn Kα < 132 eV
Maximale Eingangs-Zählrate
300,000 cps
Hardware-Integration
Vollständig integrierter SDD, Pulsmesser und Scangenerator
SOFTWARE
Auf einem Windows-PC installiert und über die Benutzeroberfläche gesteuert
EDS-Punktanalyse, Linienanalyse und Mapping
Exportfunktionen
SYSTEMSPEZIFIKATIONEN
Stellfläche
280 (B) × 470 (T) × 550 (H) mm
Gewicht
62 kg
Pumpen
Pfeiffer-Turbomolekularpumpe und eine ölfreie Membran-Vorvakuumpumpe
Vakuummodi
Hochvakuum-REM-Modus (Standard) Niedrigvakuum-Modus (Standard): Vakuum von 40 Pascal zur Reduzierung von Aufladung
Motorisch gesteuerte Vakuumstufen über die Benutzeroberfläche
Workstation
Vorkonfigurierter All-in-One-PC mit einem 27"-Monitor. SEM-Bildgebungs- und EDS-Analysesoftware installiert.
UMGEBUNGSBEDINGUNGEN
Temperatur
15°C - 25°C (59°F - 77°F)
Luftfeuchtigkeit
20 - 80% RH
Stromversorgung
System typischerweise im Bildgebungsmodus: 110 W (max. 140 W)

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